| 序号 | 耗材名称 Name | 成分 Composition | 所用设备 Equipment | 技术安全说明书 MSDS | 存放位置 Location | 申请联系人 Contact |
| 1 | 金 | Au |  Au-MSDS.docx.pdf | 需向中心申请 | 张祁莲 | |
| 2 | 铂 | Pt | Pt-MSDS.pdf | |||
| 3 | 锗金 | GeAu | 多源炉电子束蒸发系统 | Ge-MSDS.pdf | ||
| 4 | 钛 | Ti | Ti-MSDS.docx.pdf | |||
| 5 | 铬 | Cr | 多源炉电子束蒸发系统 | Cr-MSDS.docx.pdf | ||
| 6 | 镍 | Ni | Ni-MSDS.pdf | |||
| 7 | 铝 | Al | 多靶材磁控溅射仪 | Al-MSDS.docx.pdf | ||
| 8 | 钯 | Pd | 多源炉电子束蒸发系统 | Pd-MSDS.pdf | ||
| 9 | 钽 | Ta | 多靶材磁控溅射仪 | Ta-MSDS.pdf | ||
| 10 | 铌 | Nb | 多靶材磁控溅射仪 | Nb-MSDS.pdf | ||
| 11 | 铁镓 | FeGa | 多靶材磁控溅射仪 | Fe&Ga-MSDS.pdf | ||
| 12 | 铜 | Cu | 多靶材磁控溅射仪 | Cu-MSDS.pdf | ||
| 13 | 钼 | Mo | 多靶材磁控溅射仪 | Mo-MSDS.pdf | ||
| 14 | 钨 | W | 多靶材磁控溅射仪 | W-MSDS.pdf | ||
| 15 | 氧化铝 | Al2O3 | 多靶材磁控溅射仪 | Al2O3-MSDS.pdf |
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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